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La velocidad importa en la inspección, el control de procesos o el análisis de defectos y fallos en la industria de la microelectrónica y los semiconductores. Cuanto más rápido detecte un defecto, más rápido podrá reaccionar. Con un gran campo visual, el sistema de inspección DM3 XL permite a su equipo identificar defectos más rápidamente y aumentar su tasa de rendimiento. Haga uso del campo visual aumentado un 30 % del exclusivo objetivo macro. El DM3 XL utiliza iluminación LED para todos los métodos de contraste. La iluminación LED proporciona una temperatura de color constante y ofrece imágenes a color reales en todos los niveles de intensidad. - Aumente su rendimiento - Detecte de manera fiable el revelado insuficiente en el borde o en el centro de la oblea - Detecte los espesores radiales de capa irregulares - Captura y procesamiento de imágenes a color realistas en todos los niveles de intensidad - Resultados reproducibles

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Las características ópticas avanzadas mejoran la potencia de resolución y el rendimiento cuando se inspeccionan muestras de 12 ": mientras que el modo de macro proporciona cuatro veces el campo de visión de los objetivos de exploración convencionales, el Modo UV Oblicuo (OUV en inglés) permite ver la muestra en resolución superior desde cualquier ángulo. La ampliación, la iluminación o el modo de contraste se pueden cambiar con un solo toque de un botón. Como la iluminación LED está completamente integrado en el soporte del microscopio optimiza el flujo de aire en la sala limpia.

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