inducidos Alemania

... dispositivos microelectrónicos se vuelven cada vez más susceptibles a daños inducidos por arcos. El arco puede ocurrir en cualquier proceso asistido por plasma, como la Deposición Física de Vapor Ionizado (iPVD), la Deposición Química de Vapor Mejorada por Plasma (PECVD) y el Grabado. El Detector de Arcos Sion de INFICON proporciona una primera línea de defensa crucial. Sion hace posible detectar micro-arcos rápidamente y reaccionar ante ellos antes de que ocurran daños significativos o desechos. El sistema proporciona detección y análisis en tiempo real de eventos de micro-arcos en plasma.