Sistema de posicionamiento de mesa XY Prior con recorrido de 300 x 300 mm
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El H112 puede manejar fácilmente obleas de 12 pulgadas (300 mm) y trabaja en conjunto con muchos cargadores de obleas de brazo robótico. La mesa H112 es ideal para escanear una variedad de obleas semiconductoras, fotomáscaras, pantallas planas y placas de circuito impreso. El H112 puede manejar fácilmente obleas de 12 pulgadas (300 mm) y trabaja en conjunto con muchos cargadores de obleas de brazo robótico. Además, el H112 se puede utilizar para aplicaciones de transmisión de luz con un área de transmisión de luz de 250 mm x 250 mm. Características especiales: - Adecuado para la mayoría de los microscopios de marcas comunes - Repetibilidad de 1µm o mejor - Escalas lineales opcionales de 100nm que ofrecen la mayor resolución disponible - Amplia gama de soportes para obleas - Carrera de 302 mm x 302 mm (12"x12")
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